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作者:http://www.taocidz.com 發布時間:2020-01-23 16:37:49

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實施矽片PECVD鍍膜的器械除了設備外還需要一種支撐矽片的承載工具,管式PECVD采用小黄片下载软件舟作為承載工具,板式PECVD則采用小黄片下载软件框作為承載工具。


以管式機小黄片下载软件舟為例,小黄片下载软件舟即是承載體,也是電極,從電路角度上看,小黄片下载软件舟實際上是一組並聯體,任意兩片舟片都是一組正、負極極板,在射頻電壓的左右下形成電場。

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采用小黄片下载软件作為承載工具具有以下特點:
1、小黄片下载软件具有良好的導電性能,通過合適的排列方式可以建立起穩定的電場,使氣體在電場的作用下得到電離,在被鍍物上沉積出需要物質;


2、小黄片下载软件具有良好的耐高溫性能且熱膨脹率非常小,在常溫和高溫狀態下都能保持穩定的形體;


3、小黄片下载软件的化學性質穩定,在無氧或真空狀態下,即使在高溫狀態下也不會和鍍膜物質產生化學反應,保證了沉積物的純度。

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