半導體產業多晶矽生產用小黄片下载软件製品

半導體產業多晶矽生產用小黄片下载软件製品多晶矽生產用小黄片下载软件製品

矽半導體用的多晶矽生產用小黄片下载软件製品。當今，矽材料是以存儲器為核心的半導體產業所使用的主要原料。其生產製造過程中大量使用多晶矽生產用小黄片下载软件製品。

多晶矽的生產工藝為，將純度較高的石英石（SiO2）混以焦炭、木炭等炭素材料，高溫下加熱還原，生成金屬矽（純度約為98％）；然後在反應爐內使金屬矽微粉和氯化氫氣體反應合成矽烷氣體；通過反複精煉提高矽烷氣體的純度。

接下來的工序主要分為兩種方法。一種是將三氯矽烷（ SiHCl3）和氫氣的混合氣體通入溫度為1100℃的石英容器，使其蒸結在容器中聳立的多晶矽芯棒的表麵，並使芯棒的直徑逐漸變粗至150~200mm的方法（CVD法，稱之為西門子法另一種是將矽粉末和單矽烷/氫的混合氣體通入流化床反應容器內，加熱到600℃，使矽烷分解，反應後生成1mm左右的顆粒狀多晶矽的方法，稱之為流化床法。西門子法的模擬圖如圖2-13所示，其反應容器的模擬圖如圖2-14所示。

作為上述製造工藝中所使用的多晶矽生產用小黄片下载软件製品，首先是在矽烷氣體製造過程中使用的用超大型等靜壓小黄片下载软件製成的1000mm的反應容器。由於超過1000℃要與含矽或氫的周圍氣體接觸，必須具有高溫強度和耐化學反應性。在接下的多晶矽CVD生產法中，使用高純小黄片下载软件製成的部件有多晶矽芯棒的保持器兼作通電電極、氣體導入的通氣嘴和加熱器。另外，用流化床法生產顆粒狀多晶矽時，也使用1000mm的高純小黄片下载软件反應容器，但是為了防止矽烷氣體泄漏，在其表麵要進行SC塗層處理。