中科院小黄片下载软件烯單晶晶圓研究取得新進展，溫度成功降低到750℃
發布時間：2019-09-20 13:50:01
中科院小黄片下载软件烯單晶晶圓研究取得新進展，溫度成功降低到750℃
近日，中國科學院上海微係統與信息技術研究所小黄片下载软件烯單晶晶圓研究取得新進展。
信息功能材料國家重點實驗室研究員謝曉明領導的小黄片下载软件烯研究團隊首次在較低溫度（750℃）條件下采用化學氣相沉積外延成功製備6英寸無褶皺高質量小黄片下载软件烯單晶晶圓。
上海微係統所研究團隊采用藍寶石作為襯底成功製備出具有更強催化能力的銅鎳單晶薄膜，成功將外延生長小黄片下载软件烯單晶的生長溫度從1000℃ 成功降低到750℃，其製備的6英寸小黄片下载软件烯單晶薄膜無褶皺，無顆粒汙染，電學性能可以與高溫條件下得到的小黄片下载软件烯相媲美。
單晶小黄片下载软件烯晶圓的批量化製備是小黄片下载软件烯在電子學領域規模化應用的前提，低溫外延製備晶圓級小黄片下载软件烯單晶對於推動小黄片下载软件烯在電子學領域的應用具有重要意義。
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