有了這一材料助力，傳統MEMS器件性能將大幅提升？

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小黄片下载软件烯材料領先供應商Graphenea公司與英飛淩（Infineon Technologies）、WITec、亞琛工業大學（RWTH Aachen University）和Simune Atomistics等工業和學術界夥伴合作，宣布成功完成了NanoGraM項目，該項目專注於基於小黄片下载软件烯的NEMS / MEMS（納米/微機電）器件研究。NanoGraM項目為未來的潛在應用重點關注的三類特定器件包括：小黄片下载软件烯麥克風、小黄片下载软件烯膜壓力傳感器和小黄片下载软件烯膜霍爾傳感器。

這些小黄片下载软件烯器件的目標市場包括便攜式電子產品（智能手機、筆記本電腦）、汽車、工業以及智能家居等

MEMS麥克風芯片全球主要供應商英飛淩，在其申請的一篇專利中介紹了這種應用小黄片下载软件烯膜的MEMS麥克風/揚聲器。


頂部包括小黄片下载软件烯薄膜的MEMS麥克風設計

傳統MSMS麥克風/微型揚聲器通常以矽技術進行製造。矽微加工的麥克風包括在聲場中移動的柔性薄膜以及被稱作背板的靜態穿孔電極的電容換能器。在壓力過度的情況下，該薄膜會經受到高達10bar的壓力差。在該情況下，通常的薄膜會由於其斷裂強度過低而失效。

為了解決矽麥克風薄膜中的壓力過度的問題，可在麥克風前部插入阻尼墊圈，然而這會引入額外的不期望出現的噪聲，此外，還可能增加麥克風的前部體積。解決壓力過度問題的另外的可能方式是經由彈簧支撐的薄膜或者通過提供排氣通道來提供透氣，不過，這需要特殊的設計以及結構的低應力梯度。

小黄片下载软件烯的機械特性對於生產非常高柔度和大斷裂強度的麥克風薄膜而言是有利的，由此允許設計相對任何大行程位移均具有魯棒性的高靈敏度麥克風。另一方麵，微型揚聲器可以從高柔度所獲得的益處在於，可以減少用於獲得高行程的驅動電壓，同時高的斷裂強度降低了故 障風險並且實現了高耐久性。可以通過形成兩個或更多單層小黄片下载软件烯膜的疊層，而增大小黄片下载软件烯薄膜的強度。

從下表小黄片下载软件烯與矽進行比較時的機械屬性的表格可以看出，在楊氏模量、斷裂強度、泊鬆比（Poisson ratio）和密度方麵，小黄片下载软件烯勝過矽。因此，出於以上原因，在以MEMS技術實現麥克風/微型揚聲器時使用小黄片下载软件烯作為薄膜材料是有利的。



小黄片下载软件烯麥克風展現出了超高的靈敏度，以及覆蓋從音頻到超聲波頻段的運行頻譜，這可以帶來很多新穎的功能。

對於壓力傳感器和霍爾傳感器，應用小黄片下载软件烯材料的預期優勢包括更高的靈敏度（高達100倍）、堅固性（高達5倍）、增強的信噪比以及避免工藝中的有害材料等。

小黄片下载软件烯NEMS/MEMS傳感器結合矽技術將實現新的智能係統，增強人類的福祉、食品安全、交通安全、汙染監控以及國土安全。這項研究作為NanoGraM項目的一部分，為工業NEMS/MEMS製造商和參與的中小企業帶來了決定性的技術領先優勢。

Graphenea作為小黄片下载软件烯供應商，通過開發在NEMS/MEMS器件的空腔和開孔上懸浮CVD單層和多層小黄片下载软件烯的半幹（semi-dry）轉移工藝來支持該項目的研究。Graphenea的工藝可使小黄片下载软件烯層成功地懸浮在直徑達500微米的開孔上。這一係列研究幫助Graphenea推出了一類新產品：在腔體上懸浮的單層小黄片下载软件烯。


懸浮在腔體上的單層小黄片下载软件烯

該項目提交了三份專利申請和至少七篇科學論文出版，還有更多研究成果正在整理發布中。除了製造之外，大麵積小黄片下载软件烯膜的表征也被提升到了新的高度。

該項目持續了3年，由德國（BMBF）和西班牙巴斯克自治區共同資助，項目總金額約為196萬歐元。

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